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超細線路ソリューション
非接触垂直線
非接触垂直現像ラインは、エアフロートやエッジクランプなどの非接触伝送方式を採用し、基板を垂直走行中に高均一性現像を完成させ、傷やローラー跡を徹底的に避ける。垂直構造はクリーンルームの敷地面積を減らし、液体流動と制御泡を最適化し、IC載置板、フレキシブル板及び先進的なパッケージなどの精密線路の量産に向けて製造し、細い線路の良率を著しく向上させた。
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製品の優位性
非接触垂直方式生産
超微細回線対応
全自動アップ/ダウンシステム
特殊フレーム(板反り防止、寸法可変)
クリーン度管理(マグネットホイール、二次ろ過など)
メンテナンス&メンテナンスが容易
自動建浴&浴槽機能