스퍼터 스퍼터링
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스퍼터 스퍼터링
주로 반도체용 기판의 초정밀 회로, 매개층(interposer) 및 TGV, ABF의 정밀 회로 스퍼터링에 적용됩니다.
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제품 우위
 
  • 특수 지그 전송
  • 양면 스퍼터 고효율 생산
  • 서보 정밀 저속 양방향 전동 시스템
  • Ti:50-400nm,Cu:200-1000nm
  • 다중 표적 맞춤 설계, 독립 운영 제어, 다양한 금속 스퍼터링 속도 지원